종합장비기업 아바코(083930) 가 차세대 디스플레이 및 에너지 소자용 ‘로우 데미지 스퍼터’ 기술 상용화 확대에 나섰다. 유기발광다이오드(OLED) 및 페로브스카이트 태양전지(PSC)용 전극 공정 시장 공략에 속도를 내고 있는 것이다.
아바코는 최근 전자 사이클로트론 공명(ECR) 플라즈마 기반의 스퍼터 기술을 적용한 차세대 스퍼터 장비의 검증을 끝냈다. 이 기술은 기존 스퍼터 공정에서 발생하는 박막 손상 문제를 최소화한 것이 특징이다. 수년 전 관련 기술 개발을 완료한 이후 여러 고객사들과 장비 및 공정을 최적화했다.
아바코는 기술 개발 이후 중국 CSOT를 포함한 다수의 고객사에 장비를 공급했다. 이를 통해 로우 데미지 스퍼터 기술의 차세대 OLED 공정 적용 가능성을 확인했다. 올 하반기부터 글로벌 패널 제조사의 투자 및 수요에 따라 수주가 확대될 것으로 기대된다.
기존 산화물 타겟 기반 일반 스퍼터 공정은 높은 방전 전압으로 인해 고에너지 산소 음이온(O-)이 박막 표면에 충돌하면서 OLED 유기층 및 페로브스카이트 흡수층 손상을 유발하는 한계가 있었다. 이러한 공정 데미지는 소자 효율 저하와 수명 감소로 이어져 차세대 소자 양산의 주요 과제로 지적됐다.
아바코는 국내 주요 연구기관과의 공동 연구를 통해 DC 전원에 2.45GHz 마이크로파를 결합한 ECR 플라즈마 기술을 적용했다. 이를 통해 저압 환경에서도 고밀도 플라즈마 형성이 가능해지면서 공정 방전 전압을 기존 대비 낮추고 기판 손상을 최소화할 수 있다. 실제로 아바코 기술이 적용될 경우 공정 방전 전압은 기존 250~400V 수준에서 150~250V 수준으로 낮아졌다.